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DS260
DS260
全自动6寸晶圆图分选机
标配高速直驱旋转转塔机构,双芯片取放吸嘴,支持吸嘴自动测高,取放软着陆&缓抬,自动失晶检测
标配6英寸子母环输入,输入晶圆自动上下料机构
标配6英寸子母环输出,输出晶圆自动上下料机构
标配3套光学镜头,支持输入晶圆定位,芯片背面检测,分选后芯片检测
标配多顶针芯片顶起机构,支持多通道长条形芯片拾取
标配输入晶圆二维码读码器,自动读码并加载WaferMap,支持多种WaferMap格式
支持自动分选排片位置补偿
支持自动晶圆扫描和合图
中英双语人机界面,操作简单便捷
应用领域
适用于光通信多通道VCSEL/LD/PD芯片分选,重新排列工艺
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