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原子力自动量测系统
AT-1000
原子力自动量测系统
基于亚微米级光学扫描检测，实现原子力自动选点量测。
AT-1000
原子力自动量测系统
适用于纳米级关键尺寸量测，支持线宽尺寸、高度尺寸等。
图形晶圆AI光学检测系统
AX-90
图形晶圆AI光学检测系统
通过高端车规级客户验收标准，100%采用AI检测。
AX-90
图形晶圆AI光学检测系统
适用于8~12英寸图形晶圆表面缺陷检测，支持划裂前和划裂后检测。
光芯片多面AI检测系统
AR-70
光芯片多面AI检测系统
基于多景深融合技术，自适应芯片检测过程中的姿态变化。
AR-70
光芯片多面AI检测系统
适用于DFB、EML芯片的P面、N面、AR面、HR面并行检测。
光芯片AI缺陷检测系统
AX-50
光芯片AI缺陷检测系统
成熟应用于国内多家光通信行业头部客户。
AX-50
光芯片AI缺陷检测系统
适用于PD、VCSEL等光芯片表面亚微米级缺陷检测。
晶圆智能光学检测系统
AG-30
晶圆智能光学检测系统
深入理解产品工艺和检测标准，多路光复合检测。
AG-30
晶圆智能光学检测系统
适用于分立器件晶圆，支持划片前和划片后的表面缺陷检测。
全自动晶圆精密量测系统
AH-30
全自动晶圆精密量测系统
行业首款沟槽尺寸全自动、高精度、高效率量测系统。
AH-30
全自动晶圆精密量测系统
适用于晶圆关键尺寸量测，支持平面尺寸、高度尺寸。
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