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AX-50
AX-50
光芯片AI缺陷检测系统
1. 多料盒自动上下片,支持4~6英寸,自动打墨点。
2. 高速图像采集及并行处理,图像处理吞吐量 > 100张/秒。
3. 融合注意力机制,聚焦关键区域,最小检测缺陷 < 0.5um。
4. 支持背面检测功能,自动完成双面检测,结果自动合档。
5. AI自适应分割技术,不同批次芯片保持一致的缺陷识别率。
6. 可视化界面配置检测策略,调整卡控条件,管理样本库。
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