- 基于亚微米级光学扫描检测，实现原子力自动选点量测。
1. 纳米级运动平台及主动隔振系统，振动等级VC-D。
2. 超高分辨力的精密显微光学系统，光学检测精度＜0.2um。
3. 光学检测+原子力联动量测方案，任意区域快捷可视化量测。
4. 跨区域图像高精度对齐，智能图像拼接融合，误差＜0.2像素。
5. 支持无版图扫描检测，反向合成超大版图，结果实时刷新显示。
6. 单片图像采集10万+，GPU并行加速计算，数据库超高速存储。